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歐姆龍推出高敏壓力傳感器血壓測量儀

　　歐姆龍公司日前推出了用于測量“AI值”的血壓脈波測量儀“HEM-9000AI”。“AI值”是一項(xiàng)用來了解“腦梗塞”和“心肌梗塞”等循環(huán)系統(tǒng)疾病發(fā)展情況的指標(biāo)。為了利用戴在手腕上的傳感器裝置輕松測量脈搏情況，該公司開發(fā)出了靈敏度和過去相同而元件尺寸僅為1/25的壓力傳感器，并將其配備到了傳感器裝置上。

　　此次的壓力傳感器在15mm×7mm的硅芯片中集成了相當(dāng)于40個通道的壓力傳感器元件，各元件的尺寸僅有0.2mm見方。在硅芯片上將這種元件配置成了方格狀。之所以要縮小元件尺寸，目的是為了能在芯片中集成盡可能多的元件，以便更好地找到手腕上的動脈。壓力傳感器元件使用了硅薄膜，可根據(jù)薄膜受力時的變形程度測出壓力。過去，為了確保足夠的靈敏度，硅薄膜一般設(shè)計較大，壓力傳感器元件的尺寸為1mm見方。“否則，靈敏度就達(dá)不到 1/100mmHg”。

　　為了能在尺寸減至0.2mm見方以后實(shí)現(xiàn)1/100mmHg的靈敏度，硅薄膜“比過去做得更薄了”。也就是說薄膜更容易產(chǎn)生變形了。硅薄膜是從正面向背面對硅底板進(jìn)行蝕刻而形成的。首先沿垂直方向切削硅底板，最后將背面切剩下的很薄的那部分硅當(dāng)作薄膜來使用。此次，剩下的那部分硅比過去更薄。該公司通過預(yù)先使用薄型硅底板，以及對蝕刻量進(jìn)行精確管理，從而形成了很薄的硅薄膜。從小型與高靈敏度上來講，不僅是醫(yī)療，包括工業(yè)和民用壓力傳感器元件在內(nèi)，此次開發(fā)的壓力傳感器元件“從技術(shù)上來說都是最先進(jìn)的”。至于硅薄膜的具體厚度，該公司沒有公布。

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