本公司生產的真空鍍膜電源(真空蒸發(fā)鍍膜電源和真空濺射鍍膜電源)
有以下特點:1、恒壓,恒功率
      2、抑制靶材弧光放電及抗短路功能, 具有極佳的負載匹配能力。
      3、工藝重復性好。
      4、提高成膜速度, 實現高質量的濺射膜層。
 
 | 品名 | 真空鍍膜電源 | |
| 型號 | SPWM系列 | |
| 輸入 | 相數 | 單相或三相 | 
| 電壓 | 220/380V | |
| 頻率 | 50Hz | |
| 輸入方式 | 4線(含地線) | |
| 輸出 | 波形 | 直線 | 
| 功率 | 30KW /60KW /100KW(可定制) | |
| 電壓 | 0—1200V(可定制) | |
| 穩(wěn)定度 | ≤1% | |
| 電流 | 0—200A(可定制) | |
| 穩(wěn)定度 | ≤1% | |
| 紋波及雜訊 | ≤5%或≤3% | |
| 效率 | ≥90% | |
| 控制 | 功率 | 可選擇 | 
| 電壓 | 恒壓控制,可本地控制也可通過0-10V或4-20mA | |
| 電流 | 可選擇 | |
| 保護 | 具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護功能 | |
| 冷卻 | 風冷 | |
| 外型 | 外殼 |  | 
| 尺寸(W*D*H) | 482.6mm*600mm*266.7mm(30KW)    | |
| 重量 | 30KG(30KW)  | |
| 備注 |  | |