沈陽拓荊科技有限公司投資1.5億元，建立了國內(nèi)最大的半導體薄膜設備產(chǎn)業(yè)化基地，目前已經(jīng)整體入駐，一期可實現(xiàn)年產(chǎn)100臺套生產(chǎn)能力，全部投產(chǎn)后將達到年產(chǎn)350臺套生產(chǎn)能力，未來將建設成為世界領先的薄膜設備公司。<
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http:www.toastsoft.com/news/2017-4/20174991351.html
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